相關刻蝕的文學知識

反應離子刻蝕造句

反應離子刻蝕造句

給出了加速度計的製作工藝流程,研究瞭解決深反應離子刻蝕過程中的過刻蝕現象的方法。加速度計用普通的N型硅片製造,爲了刻蝕高深寬比的結構,使用了深反應離子刻蝕(DRIE)工藝。衍*光學元件的製作技術主要包括激光或電子束直...

刻蝕造句

刻蝕造句

該器件採用一次深刻蝕與一次淺刻蝕,從而屏蔽掉“靜態鏡面”的影響。通常,所有暴露在刻蝕劑中的材料都具有一定的刻蝕速率。等離子體低溫刻蝕是一種針對高深寬比結構的幹法刻蝕技術。介紹了一種無刻蝕直流鍍鐵工藝。劑中...

離子刻蝕造句

離子刻蝕造句

1、利用離子束刻蝕(IBE)和反應離子刻蝕(RIE)等幹法刻蝕方法來製造帶柵極的場發**極陣列。2、並且詳細論述離子刻蝕的原理以及離子源的參數設計。3、對二氧化硅反應離子刻蝕中反應室壓力,刻蝕氣體流量和*頻功率等因素對...

刻蝕工藝造句

刻蝕工藝造句

1、製作採用的是傳統的光刻、刻蝕工藝。2、刻蝕工藝的分辨率是圖形轉移保真度的量度.3、電池片表面無劃傷,但對於在製作過程中採用激光刻蝕工藝的電池的邊沿刻蝕線除外。4、論文主要圍繞空腔刻蝕工藝和尖錐沉積工藝兩...