濺*製備造句

研究了離子束濺*製備微晶矽薄膜的生長縱向結晶演化過程。

採用*頻濺*製備bst薄膜，研究了薄膜的介電擊穿特*。

最後使用磁控濺*製備了銻錫合金薄膜，並改變引數製備出不同結構及*能的薄膜。

第五章研究了直流磁控濺*製備Sb摻雜TiO成膜特點。

研究結果表明，磁控濺*製備的碳*膜為非晶結構。