微加速度计造句

介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究。

本发明是一种结 构尺寸小、集成度高、调制速度快的硅基环形谐振腔的微加速度计。

线*测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线*度，因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值。

这个程序可以计算静电力使结构发生的变形，可以计算加速度作用时微加速度计的输出电压。