諧振式壓力傳感器造句

研究了微電容式壓力傳感器的差動電容結構設計和微諧振式壓力傳感器的微諧振子結構設計，利用ANSYS軟件對微差動電容的結構進行了優化設計。

除此之外，硅微諧振式壓力傳感器還具有響應快、頻帶寬、結構緊湊、功耗低、體積小、重量輕、可批量生產等衆多優點，一直是各國研究和開發的重點。