本文将介绍扫描探针显微镜及其在微电子工艺和器件微分析中的应用。目前承担微电子*方向的主干课程:固态电子论、微电子器件与原理、集成电路设计,微电子工艺等课程。完善了大学生工程素质培养体系方案,将电子工艺实习作为工程素质训练的第一课。