The laser direct writing(LDW) system SVGLDW 04 with a projection optical system and a spatial light modulator(LCD-SLM) can expose a reduction pattern directly on a photoresist plate.
通过双远心成像光路,激光直写(LDW)系统SVG-LDW04把液晶空间光调制器(LCD-SLM)上的光斑直接成像在光刻胶板上,得到高质量的光斑图形。