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三*化氮(NF3)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,无*,无臭,在潮湿空气中泄露会产生白雾,红棕*气体等...

三*化氮(NF3)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,无*,无臭,在潮湿空气中泄露会产生白雾,红棕*气体等...

问题详情:三*化氮(NF3)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,无*,无臭,在潮湿空气中泄露会产生白雾,红棕*气体等现象,反应方程式为:aNF3+bH2O=c    +dHNO3+eHF。下列说法正确的是(   )A.反应方程式横线处的物质为NO,且a=3,b=5,c=2...